A rekombináció alatt a fotonok a magasabb hőmérsékletű helyekről folyamatos szórásokon átesve a hidegebb területek felé diffundálnak. Ez a termalizáció azon a skálán hatásos, amelyet a foton bolyongása során befuthatott a lecsatolódásig. A fotonok két Compton-szórás között átlagosan távolságot, míg szórás alatt távolságot (lásd bolyongási probléma) tesznek meg, konformis idő alatt. Az utolsó szóródási felület hossznak megfelelő szögskáláján a spektrum amplitúdójában a termalizáció miatt bekövetkező csökkenést diffúziós, vagy Silk-csillapodásnak nevezik. A csillapodás a spektrum harmadik csúcsát követően várható.